江苏太平洋石英股份有限公司(石英股份)公告,全资子公司连云港太平洋半导体材料有限公司与江苏东海经济开发区管理委员会签署投资意向书,拟总投10.3亿元建设“年产3000吨电子级石英材料”项目。

石英材料在半导体产业的应用主要是在晶圆生产中的扩散和刻蚀工艺,应用于刻蚀工艺的石英部件主要有石英环、石英保护罩等,应用于扩散工艺的石英部件主要有石英舟、石英炉管、石英挡板、套管等。高端石英材料是能够满足其高温、洁净、抗污染和耐蚀等工艺环境要求的先进材料。近年来,在公司战略发展规划下,石英股份已先后投建几期半导体石英材料系列项目。
据公告显示,本次项目初步意向选址东海经济开发区半导体材料公司现有厂区西北地块(约60亩),初步内容包括:新建、改造厂房,购买机械设备。具体投资事宜以甲乙方未来签订的投资协议为准。
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